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碳化硅襯底 精密加工 多線切割 研磨 拋光 粗糙度 《電子工業專用設備》 2013年05期 收藏 投稿 (3英寸)碳化硅襯底精密加工技術,該技術成功對本單位自主,2018年7月2日 第三代半導體材料有氮化鎵(GaN),金剛石(也叫鉆石),碳化硅(SiC,也叫莫 實現以上工藝的設備有,氧化爐、光刻機、顯影機、刻蝕機、鍍膜機、注入機